當(dāng)前位置:廣東森德儀器有限公司>>光學(xué)儀器>>掃描電鏡SEM>> ZEM20臺(tái)式掃描電鏡
臺(tái)式掃描電鏡 ZEM20是澤攸科技ZEM系列中的一款高性價(jià)比臺(tái)式掃描電子顯微鏡(SEM),采用預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子源與真空分隔技術(shù),兼具高分辨率成像與快速操作體驗(yàn)。其緊湊設(shè)計(jì)、超大樣品倉(cāng)及智能化操作界面,適配材料科學(xué)、電子制造、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的微納結(jié)構(gòu)表征需求,尤其適合實(shí)驗(yàn)室與工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的高效檢測(cè)場(chǎng)景。
核心特點(diǎn)
優(yōu)秀成像性能
高分辨率:4nm@20kV,最大放大倍數(shù)36萬倍,清晰呈現(xiàn)納米級(jí)表面形貌(如金屬顆粒、碳納米管)。
雙真空模式:標(biāo)配高真空,可選配低真空(1-60Pa),支持非導(dǎo)電樣品免噴金觀察。
高效操作與快速換樣
真空分隔設(shè)計(jì):電子槍與樣品倉(cāng)獨(dú)立真空,換樣時(shí)間<1分鐘(最快30秒),提升檢測(cè)效率。
全鼠標(biāo)操控:一體式聚光鏡設(shè)計(jì),無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光闌,簡(jiǎn)化操作流程。
靈活擴(kuò)展與智能監(jiān)測(cè)
多軸樣品臺(tái):標(biāo)配三軸移動(dòng),可選五軸臺(tái)適配復(fù)雜樣品定位與原位實(shí)驗(yàn)。
倉(cāng)內(nèi)攝像頭:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品動(dòng)態(tài)變化,支持原位加熱、拉伸等拓展功能。
多探測(cè)器兼容:標(biāo)配SE/BSE探測(cè)器,可選配EDS能譜分析,實(shí)現(xiàn)成分與形貌聯(lián)動(dòng)檢測(cè)。
工業(yè)級(jí)適配性
超大樣品倉(cāng):兼容塊狀、粉末及薄膜樣品,支持大尺寸工業(yè)件(如電路板、涂層試片)直接觀測(cè)。
減速模式選配:弱導(dǎo)電樣品無需預(yù)處理,降低檢測(cè)成本與時(shí)間。
參數(shù)摘要
關(guān)鍵指標(biāo) | 參數(shù)詳情 |
---|---|
分辨率 | ≤4 nm(20kV加速電壓) |
放大倍數(shù) | 20×至360,000× |
加速電壓 | 最大20 kV |
燈絲類型 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
樣品臺(tái) | 三軸標(biāo)配,五軸選配 |
真空模式 | 高真空(標(biāo)配),低真空(選配) |
探測(cè)器 | SE、BSE(標(biāo)配),EDS(選配) |
應(yīng)用領(lǐng)域
材料科學(xué):納米材料形貌分析(如碳納米管、金屬顆粒)、涂層/鍍層均勻性檢測(cè)。
電子制造:PCB板缺陷檢測(cè)、半導(dǎo)體器件微觀結(jié)構(gòu)觀測(cè)。
生物醫(yī)學(xué):生物組織表面形貌研究、藥物載體顆粒分析。
工業(yè)質(zhì)檢:合金相結(jié)構(gòu)觀察、復(fù)合材料界面表征。
科研教育:高校實(shí)驗(yàn)教學(xué)、跨學(xué)科微納尺度研究。
臺(tái)式掃描電鏡 優(yōu)勢(shì)總結(jié)
高效便捷:真空分隔技術(shù)+全鼠標(biāo)操作,大幅提升檢測(cè)效率。
靈活拓展:支持EDS、原位臺(tái)等多模塊擴(kuò)展,滿足進(jìn)階分析需求。
廣泛適配:低真空模式與超大樣品倉(cāng),覆蓋導(dǎo)電/非導(dǎo)電、大尺寸樣品檢測(cè)。